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光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創(chuàng)新發(fā)展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，

光學微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產區(qū)

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設備區(qū)(包括凈化空調系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)

光學微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。

光學微電子凈化工程凈化參數

換氣次數：十0000級≥15次;十000級≥20次;十00≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：十級、十0級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的十%-30%;照度300LX。

光學微電子凈化工程結構材料

1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3、送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4、高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

學微電子凈化工程解決方案:

凈化工程設計過程中，應加強對光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求 、工程造價合理、經濟節(jié)能實用的方案。

組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

這是一個傳統(tǒng)的凈化空調系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

優(yōu)點：

A、空氣處理效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;

B、比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房；

C、空調冷熱源可與廠房普通空調系統(tǒng)合用或獨立冷熱源。